PV09700 - SEMI PV97 - Specification for Silicon Powder Used in Polysilicon Production StdPbc-1012 SEMI M1-1014 (technical revision)

SEMI M1-1014 (technical revision)

processing-equipment users

1（LonWorks）コントロールネットワーキングプロトコルは，Echelonによって開発され，任意のハードウェアプラットフォームに実装するために無償でライセンスできる。LonWorks用のSEMIのNCSは，LonMark相互運用ガイドラインに基づき，ANSI/EIA/CEA-709

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SEMI C31 — Specification for Methanol

PV09700 - SEMI PV97 - Specification for Silicon Powder Used in Polysilicon Production StdPbc-1012 SEMI M1-1014 (technical revision)Silicon powder is an important raw material for the production of polysilicon, it is used for the synthesis of trichlorosilane and hydrosilylation of silicon tetrachloride. The quality of silicon powder has direct influence on the quality of trichlorosilane. With the improvement of polysilicon production technology, the quality of polysilicon products is getting higher and higher, and the requirements on the quality of silicon powder are also getting