P01700 - SEMI P17 - 誘導結合プラズマ発光分光法(ICP)によるポジティブ・フォトレジスト・メタルイオンフリー(MIF)現像液における鉄,亜鉛,カルシウム,マグネシウム,銅,ホウ素,アルミニウム,クロム,マンガン,およびニッケルの測定 Revision:SEMI P17-92 (Reapproved 0299) - Inactive 本スタンダードの目的は,マイクロエレクトロニクスの清浄な環境を,分子(粒子ではない)汚染レベルに関して分類することである。この標準分類は,空気を媒体とする特定の分子汚染のグループについて,許容可能汚染レベルの一貫したコミュニケーション方法を提供する。本スタンダードに添付される関連情報1を参照のこと。
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