M01000 - SEMI M10 - ガリウムヒ素ウェーハに見られる構造及び特徴の確認のための標準名称 StdPbc-0820 この仕様はSEMI E30（GEM）に適合する装置に適用できる。

Name: M01000 - SEMI M10 - ガリウムヒ素ウェーハに見られる構造及び特徴の確認のための標準名称 StdPbc-0820 この仕様はSEMI E30（GEM）に適合する装置に適用できる。
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Description

この仕様はSEMI E30（GEM）に適合する装置に適用できる。

This Standard applies to one-port/four-fastener components

• A single consistent means of accomplishing an action when SECS-II provides multiple possible methods

The inspection and metrology tools covered include only commercial instruments available in the 2012–2014 time frame

PVD and Plating)

M01000 - SEMI M10 - ガリウムヒ素ウェーハに見られる構造及び特徴の確認のための標準名称 StdPbc-0820 この仕様はSEMI E30（GEM）に適合する装置に適用できる。4 2(1)(2) Referenced SEMI Standards SEMI M9 Specifications for Round Polished Monocrystalline Gallium Arsenide Slices

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